PvS-LPC 是一款可原位獲得旋涂過程中吸收光譜、熒光光譜和反射光譜的動態(tài)變化的旋勻膠機。它的旋轉(zhuǎn)及控制系統(tǒng)采用定制開發(fā)的無刷電機，配合精密的運動控制系統(tǒng)實現(xiàn)分辨率為 1 轉(zhuǎn)/分，高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速誤差小于<±0.1%。腔體和吸盤均采用高純度 PP 制作，耐酸堿，耐有機溶劑，加工精美光潔度高，易清洗。 

產(chǎn)品特點

• 4.3 寸工業(yè)全彩觸屏人機界面與高精度無刷電機

•  PP 內(nèi)腔，耐腐蝕透明蓋

• 真空吸附壓力保護

• 可處理基片范圍：小于 10mm 碎片至 6 寸圓形底物

• 標配漏膠過濾裝置、漏膠檢修接口和防堵膠功能

• 跟蹤監(jiān)測旋涂過程中吸收光譜、熒光光譜和反射光譜動態(tài)變化

• 選配手持對中器

• 可選配升級自動滴膠裝置

• 專利產(chǎn)品，專利號 CN202123107202.0

技術(shù)參數(shù)

•  轉(zhuǎn)速范圍 100-12000rpm

• 轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm

• 加速度可調(diào)范圍 100-15000rpm/s

• 最大單步時長 3000s

• 時間分辨率 0.1s

• 配方功能 最大 100 組配方存貯

• 單步和多步旋涂功能 多步支持 100 步程序

• 標配三種真空載物盤（支持定制）10mm、20mm、50mm

• 真空系統(tǒng) 真空壓力保護

• 電源輸入 寬電壓輸入 220-240VAC

• 外形尺寸 200mm(W)*255mm(D)*342mm(H)

• 氣泵參數(shù) 220VAC/負壓范圍 0~-80kPa

• 氣泵尺寸 270mm(L)*110mm(W)*155mm(H)