在眾多對材料表面涂覆均勻性要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域，勻膠機(jī)扮演著至關(guān)重要的角色。無論是半導(dǎo)體材料研發(fā)、生物材料物性分析，還是化工材料薄膜制備，勻膠機(jī)都能大顯身手。

勻膠機(jī)的工作原理基于離心力。在高速旋轉(zhuǎn)的基片上滴注各類膠液，離心力會使膠液均勻地涂覆在基片上。膜的厚度主要取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。轉(zhuǎn)速越快，膠液受到的離心力越大，鋪展得越??；溶膠黏度越高，膠液流動越困難，形成的膜相對較厚。

該設(shè)備一般包含控制器和甩膠處理腔體兩大部分?？刂破魅缤O(shè)備的 “大腦”，內(nèi)部預(yù)制的 PLC 程序段發(fā)揮著關(guān)鍵作用。不同型號的控制器功能差異較大。簡易型的如中科院微電子所開發(fā)的 KW - 4A，通過簡單的電控調(diào)速技術(shù)，將旋轉(zhuǎn)速度分為 2 - 3 個檔位，低檔用于甩開膠液，用于均勻涂布。而功能復(fù)雜的如 MYCRO 的 WS650 系列設(shè)備，可設(shè)定多達(dá) 20 個程序段來存儲不同材料的制備過程，每個程序段能設(shè)定 51 步速度改變，還能通過藍(lán)牙連接電腦，借助旋涂軟件進(jìn)行定制化操作。甩膠處理腔體則是實際進(jìn)行涂覆操作的場所。

勻膠機(jī)的應(yīng)用極為廣。在 MEMS 微加工中，它可制備厚度小于 10 納米的薄膜。在光刻工藝中，約 1 微米厚光刻膠沉積層的制備也離不開勻膠機(jī)，光刻膠剝離時通常需以每秒 20 至 80 轉(zhuǎn)的速度旋轉(zhuǎn) 30 到 60 秒。

在選購勻膠機(jī)時，有幾個關(guān)鍵要點。轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度與旋涂層的厚度控制及膜層均勻性直接相關(guān)。國產(chǎn)部分勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，無法精確標(biāo)定實時轉(zhuǎn)速；進(jìn)口勻膠機(jī)雖大多能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但部分轉(zhuǎn)速精度缺乏國際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定，建議選擇有美國 NIST 標(biāo)準(zhǔn)等國際認(rèn)定的產(chǎn)品。真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造也不容忽視，真空泵需為無油型且壓力標(biāo)定準(zhǔn)確。因為油污可能堵塞真空管道，降低真空吸附力，致使基片吸附不住出現(xiàn) “飛片”，甚至滴膠液進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。一些國外勻膠機(jī)通過聯(lián)動機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不足時不會啟動旋轉(zhuǎn)，有效避免此類問題。對于半導(dǎo)體化工等行業(yè)，材質(zhì)選擇至關(guān)重要。多數(shù)勻膠機(jī)采用不銹鋼或普通塑料材質(zhì)，成本低但存在弊端，不銹鋼抗腐蝕性欠佳，普通塑料在高溫高壓下易變形，影響托盤水平度，進(jìn)而影響旋涂效果。美國的部分型號采用天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材質(zhì)，具備綠色環(huán)保、強(qiáng)度大、抗沖擊等優(yōu)點。

總之，勻膠機(jī)憑借其獨特的工作原理和應(yīng)用，在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用，而合理選購能讓其更好地滿足不同的使用需求。